Mengenai cara shalat tahajud tidak jauh berbeda dengan sholat sunnah umumnya.

Adapun tata cara Shalat Tahajud yang dikutip dari ceritaislami.net yaitu sebagai berikut :

1. Membaca niat shalat tahajud seperti yang terlah tertulis di atas dengan suara yang pelan saja, diikuti dengan artinya di baca dalam hati.

2. setelah membaca niat dilanjutkan dengan membaca takbir, (membaca Allahhuakbar) sambil tangannya di angkat ke atas

3. Kemudian membaca doa iftitah (sunah)

4. Lalu membaca surat alfatihah, setelah alfatihah membaca surat pendek yang ada dalam Al Qur’an yang telah dihafal, seperti surat Al Ikhlas, Annas, Alfalaq, dan lain-lain

5. Kemudian lanjutkan seperti pada langkah langkah shalat pada umumnya. Seperti rukuk, sujud, hingga salam.

Setelah salam disunahkan membaca bacaan wirid, tasbih, tahmid, takbir, sholawat, istigfar, kemudian membaca doa shalat tahajud.